壓電載物臺·高負(fù)載通孔型 Carrier.S100.xyRz.C

? 高負(fù)載·高速XY平面運(yùn)動，Z軸旋轉(zhuǎn)設(shè)計，保證XY面內(nèi)準(zhǔn)直運(yùn)動

• 兩維度 XY 掃描運(yùn)動100 um, Z軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動1 mrad；

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm；

• 最大負(fù)載 5 kg；

• 針對光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案；

• ?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；

壓電偏轉(zhuǎn)臺，高負(fù)載通孔型，XYRz方向——詳細(xì)參數(shù)：

壓電偏轉(zhuǎn)臺，高負(fù)載通孔型，XYRz方向——尺寸圖：

多場科技“壓電掃描臺·通孔型”解決方案包括Carrier.S 系列（標(biāo)準(zhǔn)型）和Carrier.SL 系列（輕量型）。Carrier.S & SL系列主要針對精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場景，覆蓋載物臺“大行程·高精度·重負(fù)載”等需求，核心特點包括：

• 運(yùn)動方式覆蓋線性運(yùn)動 & 俯仰運(yùn)動

• X，Z，XY，XYZ & ZTT等運(yùn)動形式全面支持

• 線性運(yùn)動行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm

• 超快運(yùn)動響應(yīng) & 長時間疲勞測試

• 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級